電動氣門研磨機（內(nèi)燃機修理）這里我們介紹一種化學機械研磨機載具膜預防保養(yǎng)方法，包括下列步驟：（a）一化學機械研磨機上，其具有一研磨主軸、可拆裝地設置于該研磨主軸上一研磨具，其該研磨載具具有數(shù)個抽氣孔、一可拆裝導環(huán)以及一載具膜，用激光預先加工所述載具膜上與該抽氣孔對應數(shù)個孔洞；（b）當該化學機械研磨機需預防保養(yǎng)時，將該研磨載具從該研磨主軸上拆下；  電動氣門研磨機（內(nèi)燃機修理）（c）將該導環(huán)從該研磨載具拆下且去除原有載具膜后，對該研磨載具進行清潔處理；（d）將新載具膜與對孔板對準，搶購其該對孔板上具有與該抽氣孔對應數(shù)個*銷孔，且每一*銷孔上設有一固定銷，當該載具膜與該對孔板對準時，每一固定銷穿過該孔洞；（e）將該載具膜與該對孔板一起放置該研磨載具上，使每一固定銷依序穿過對應孔洞、抽氣孔；（f）將該載具膜粘貼該研磨載具上，且移去該對孔板；  電動氣門研磨機（內(nèi)燃機修理）以及（g）將該導環(huán)安裝至該研磨載具后，將該研磨載具安裝至該研磨主軸上。